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MILA-5000系列桌面型快速退火爐MILA-5000系列加熱爐體使用紅外金面退火爐，可以進行快速升降溫，潔凈加熱。

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快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。

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