DosiTorr

超潔凈、高耐用、抗腐蝕的高真空壓力測量方案

核心優勢：

• 可直接替換多數電離規（1:1兼容）

• 自主工作的旋轉轉子真空計（SRG）

• 傳遞標準級精度

• 測量范圍：10 mbar 至 5×10?? mbar

• 100%線性輸出

• "零"漂移（<1.5%/年）

• 抗腐蝕與沉積

• 可更換傳感器

• 超潔凈/無菌設計

• 真空腔內無電子元件

• 與設備同壽命設計

• 24VDC供電

• 0-10VDC可配置輸出

典型應用：

• 故障電離規替換

• 離子注入、干法蝕刻

• 在線真空絕緣監測

技術說明

DosiTorr是基于旋轉轉子真空計（SRG）技術的工藝用壓力計。其采用不銹鋼球體通過電磁力旋轉的簡約設計，相比皮拉尼規（熱傳導）或電離規（電離效應），不會對被測介質產生影響，是高純工藝環境的理想選擇。即使在腐蝕性工藝環境中，DosiTorr仍能保持長期穩定的高精度測量，這得益于SRG傳感器對沉積和腐蝕的天然抗性。

SRG技術工藝優勢

SRG技術的高精度和長期穩定性已在真空計校準領域（如電離規校準）得到多年驗證。如今，該技術以自主式工藝傳感器的形式呈現：

• 超高精度：0.1 mbar至1×10?? mbar范圍內達讀數±1%

• 100%線性壓力讀數（與氣體種類無關）

• 長期穩定性：年漂移率<1.5%

• 不銹鋼傳感器抗腐蝕與沉積

• 安全潔凈測量：無污染/無熱輻射/無電離效應

增強型工藝適配設計：

• 磁屏蔽：抗外部磁場干擾

• 強化磁懸浮系統：提升測量可靠性

• 集成溫度傳感器：自動溫漂補償

• 更高轉速：降低振動敏感性

SRG技術原理

旋轉轉子真空計（SRG）基于氣體分子吸附-脫附導致的轉子減速效應，通過測量減速速率計算真空壓力。系統包含三大組件：

1. 傳感器組件

• 磁性不銹鋼球體（傳感器核心）

• 安裝在連接真空系統的套管中

2. 測量頭組件

• 通過電磁場實現懸浮/加速/測量

• 外置于真空系統

3. 電子控制單元

• 傳感器控制與信號處理

產品系列

為滿足不同工藝需求，提供多種配置方案：